ГОСТ

В кратчайшие сроки сертифицируем все виды продукции с внесением в реестр ФСА и гарантией легитимности

Отправим оригинал бесплатно в любой город за 3 дня

Сделаем в срок по договору или вернем деньги

Делаем пресональные скидки постоянным клиентам

Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОНИКА → Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы

ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Название на англ.:	Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Тип документа:	стандарт
Статус документа:	действующий
Число страниц:	13
Дата актуализации текста:	01.08.2013
Дата актуализации описания:	01.08.2013
Дата издания:	04.10.1973
Дата введения в действие:	31.08.1973
Дата последнего изменения:	22.05.2013